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NEW 오일권 교수 참여 산학공동연구, 산자부 우수과제상
- 2025-09-25
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아주대학교 연구진과 중소기업의 산학협력을 통해 신규 장비 상용화와 수출 계약이 성사됐다. 산업통상자원부 지원을 통해 이루어진 성과로, 산학 공동 연구팀은 해당 지원사업의 우수과제상을 수상했다.
아주대 오일권 교수(지능형반도체공학과·전자공학과, 사진)가 지난 2022년부터 ㈜씨엔원(대표 정재학)과 함께 참여해온 <PIM 인공지능 반도체 핵심 기술 개발 사업(산업통상자원부)>의 평가 결과 우수과제상을 받았다.
산업통상자원부는 미래 한국의 신산업 창출과 핵심 기술을 위해 반도체 분야의 신기술 개발을 지원하고 있다. 오일권 교수는 ㈜씨엔원이 주관하는 ‘MTJ(Magnet Tunnel Junction) Capping Layer 제조용 Plasma Source를 이용한 저온공정 Silicon Nitride 증착 장비 개발’ 과제에 참여해왔다. ㈜씨엔원은 반도체 및 첨단장비의 설계 및 제조를 전문으로 하는 기업이다.
산학 공동 연구팀은 차세대 반도체 소자 공정의 요구를 겨냥해 공동 연구를 진행해왔다. 저온에서 기판 데미지를 최소화하면서 막질과 균일도를 확보해야 하는 산업계의 요구를 충족시키기 위해서다. 세계적 반도체 기업들도 그동안 해당 장비의 개발과 양산에는 어려움을 겪어왔다.
산학 공동 연구를 통해 연구팀은 60MHz 단일 주파수 플라즈마를 성공적으로 개발하는데 성공했다. VHF 플라즈마 적용은 이온 에너지와 전하 축적을 정교하게 제어해 손상 억제형 박막 형성을 가능케 했고, 듀얼 주파수 운용은 공정 윈도우를 높여 양산 적용의 선택지를 넓혔다.
㈜씨엔원은 새로 개발한 기술이 탑재된 장비로 20억원 규모 해외 수출을 성사시켰다. 이러한 성과를 기반으로 이 회사는 2024년 500만불 수출의 탑과 철탑산업훈장을 받았다.
해당 과제의 아주대 연구책임을 맡은 오일권 교수는 “대학의 공정에 대한 지식과 산업체의 장비화 역량이 맞물려 산업계의 난제를 풀어내는 데 성공했다”며 “앞으로 고집적 소자 라인에서의 실증을 통해 글로벌 표준 공정으로 자리매김하길 기대한다”라고 말했다.
공동 연구팀은 앞으로도 ▲대면적 균일도·결함 고도화 ▲공정-장비-계측 데이터 통합 ▲선택적 증착 기술 개발 등을 확대 추진할 계획이다.