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박성준 교수, '나노코리아 2025' 나노연구혁신부문 과기부장관상 수상 위치 확인

박성준 아주대 전자공학과 교수가 지난 2~4일에 일산 킨텍스에서 진행된 '나노코리아 2025, 제23회 국제 나노기술 심포지엄 및 융합전시회(NANO KOREA 2025)’에서 나노연구혁신부문 과기정통부 장관상을 수상했다.[박성준 교수 연구팀 단체사진]‘NANO KOREA 2025‘는 과학기술정보통신부와 산업통산자원부가 주최하고, 나노기술연구협의회와 나노융합산업연구조합이 주관하는 국내 최대 규모의 국제 나노과학기술 심포지엄이다.박성준 교수는 “초고난이도의 수직형 나노채널 소자 개발을 통한 생체신호 모니터링 바이오소자 원천기술”을 확보한 공로로 연구혁신 부문에서 과학기술정보통신부 장관상을 수상했다. 박 교수 연구팀은 세계 최초로 수직형 구조를 적용한 4단자 원통형 유기 전기화학 트랜지스터(OECT)를 두께 1μm의 초박막 유연 기판 위에 성공적으로 구현하였으며, 이를 바탕으로 심전도(ECG), 근전도(EMG), 안구전도(EOG) 등 생체 신호를 -10mV의 초저전압에서도 고감도로 감지할 수 있는 전자피부(e-skin) 개발에 성공했다. 연구 결과는 국제 학술지 어드밴스드 머티리얼즈(Advanced Materials, IF: 26.8. JCR: 상위 2.1%)에 게재됐다. 해당 논문은 우수한 연구로 인정받아 해당 저널의 커버 이미지로도 선정된 바 있다.박성준 교수는 “본 연구는 1마이크로미터 두께의 초박막 유연 기판 위에 500나노미터 수준의 반도체 채널을 구현하고, 이를 피부와의 정합성이 뛰어나도록 구현함으로써 낮은 전력 소모에도 높은 정확도를 구현한 생체신호 측정 플랫폼을 개발했다는 데 큰 의미가 있다”고 밝혔다. 이어 그는 “이번 성과는 향후 지능형 반도체, 웨어러블 헬스케어, 인체-기계 인터페이스 등 다양한 융합 기술 분야에 적용 가능한 전략적 원천기술로서의 가능성을 입증한 것으로, 다기능 차세대 웨어러블 디바이스의 고도화를 위한 핵심 기반이 될 것으로 기대된다”고 덧붙였다.[연구자 정보]박성준 교수 아주대 전자공학과·지능형반도체공학과(교신저자)아주대 부교수(2020~현재)삼성전자 종합기술원 연구원(2018~2020)일본 동경대학 방문 연구원(2017~2019)일본 이화학연구소 박사후연구원(2016~2018)광주과학기술원(GIST) 박사(2016)
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- 작성일2025-07-07
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박성준 교수팀, 낮은 전력으로도 정확·안정적으로 구동가능한 정밀전자피부(e-skin) 개발 위치 확인

아주대 연구진이 낮은 전력으로도 정확하고 안정적으로 구동 가능한 정밀 전자 피부를 개발하는데 성공했다. 기존 반도체 기반 전자 피부의 약점을 보완한 것으로, 앞으로 생체신호 전반을 실시간으로 모니터링할 수 있는 첨단 바이오 기술에 널리 활용될 전망이다. 우리 학교 박성준 전자공학과·지능형반도체공학과 교수는 서울대·미국 퍼듀대 연구팀과 함께 새로운 유기물 전기화학 트랜지스터(OECT) 구조를 통해 기존 p-형 반도체 기반 전자 피부(e-skin)의 약점을 보완한 n-형 반도체 기반의 고정밀 전자피부를 개발했다고 밝혔다. 해당 연구는 ‘피부 밀착 심전도 모니터링을 위한 멸균 안정성을 가진 수직구조 n-형 유기물 전기화학 트랜지스터(Sterilizable vertical n-type organic electrochemical transistors for skin-conformal ECG monitoring)‘라는 제목으로 글로벌 저명 학술지 <재료과학 및 공학 보고(Materials Science and Engineering: R: Reports)>에 7월 게재됐다. 아주대 대학원 지능형반도체공학과 박사과정의 이인호 학생, 서울대 신소재공동연구소 김지환 박사와 미국 퍼듀대(Purdue University) 이원준 박사가 공동 제1저자로 참여했다. 박성준 아주대 전자공학과·지능형반도체공학과 교수와 강기훈 서울대 재료공학부 교수, 지엔궈 메이(Jianguo Mei) 미국 퍼듀대 화학과 교수는 교신저자로 참여했다. 전자 피부(e-skin)는 유연성과 기능성을 동시에 가져, 피부에의 밀착이 가능하면서도 생체신호를 정밀하게 측정할 수 있는 장치다. 이에 최근 외과적인 처치 없이 심박수와 체온 등 생체신호를 실시간 모니터링할 수 있는 비침습적 센서 플랫폼으로 주목받고 있다. 특히 유기 반도체 물질 기반의 유기물 전기화학 트랜지스터(OECT)는 피부 표면에서 일어나는 미세한 생체신호인 이온 농도 변화를 전기 신호로 변환·증폭할 수 있어, 단순 전극 기반의 전위차 측정 방식에 비해 더욱 정확하고 민감하게 이온 농도 변화를 측정할 수 있다. 이에 유기물 전기화학 트랜지스터(OECT)를 활용하면 생체리듬의 보다 정밀하고 안정적인 분석이 가능하다. 그동안 전자 피부(e-skin) 기술에는 유기 전기화학 트랜지스터(OECT) 채널 소재로 p-형 반도체가 활용되어 왔다. p-형 반도체가 전기적 성능과 환경 안정성 측면에서 n-형 반도체에 비해 우수한 덕분이다. 특히 p-형 반도체는 음전위 영역에서 생체신호를 효과적으로 증폭할 수 있어, 심박수나 뇌파 같은 음극성 생체신호의 감지에 적합하다.하지만 p-형 소재는 양전위 영역의 신호에는 민감도가 떨어져, 이온 농도 변화나 전해질 조성 등 양전위 기반 생체신호의 정밀 측정에는 한계가 존재한다. 또한 생체적합성 측면에서도 한계를 보이는데, 화학적 불안정성을 갖고 있어 자외선 조사나 고온 증기 등 의료 현장에서 일반적으로 사용하는 멸균 공정을 견디기 어렵다는 특성을 가지고 있다. 때문에 피부에 밀착시켜 장기간 사용해야 하는 전자 피부의 특성상, 위생 관리에 큰 걸림돌이 될 수 있다. 멸균 공정에 대한 내성이 부족한 소재는 실제 의료 환경에서 폭넓게 활용하는데 제약이 생길 수밖에 없어서다.이러한 p-형 소재의 한계를 극복하기 위해 대안으로 주목받는 것이 n-형 반도체다. n-형 반도체는 양전위 영역의 생체신호 감지에 유리해, p-형의 극성 한계를 보완할 수 있다. 그러나 문제는 n-형 반도체 또한 쉽지 않은 생체환경의 벽을 마주하고 있다는 점이다. n-형 반도체는 전자 구조상 LUMO 준위가 수계 산화환원 전위에 가까워, 수분이나 산소와 쉽게 반응해 산화되기 쉽다. 이로 인해 장기간 안정적으로 작동하기가 어렵고, 멸균 환경이나 땀·체액 등 실제 생체 조건에서의 내구성이 떨어지는 단점이 있다.결국 지금까지 개발된 유기 전기화학 트랜지스터(OECT) 기반 전자 피부는 특정 극성의 생체신호에는 최적화되어 있으나, 양전위·음전위 신호를 모두 정밀하게 감지하고 반복 멸균을 견뎌내는 실용적 플랫폼으로까지의 구현은 해결되지 않은 과제로 남아 있었다. 이에 아주대 공동 연구팀은 전자공학, 재료과학, 소재공학 분야의 협력을 통해 새로운 구조의 유기 전기화학 트랜지스터(OECT)를 개발하고, 동시에 높은 결정성과 깊은 LUMO 준위를 갖는 n형 반도체 소재인 n-PBDF를 채택했다. 연구팀은 이 소재를 통해 기존 n형 반도체의 산화 취약성과 환경 불안정성 문제를 효과적으로 극복하고, 장기적 구동 안정성 또한 확보했다.아주대 공동 연구진이 새롭게 제안한 4단자 n-형 수직 코바이노 유기물 전기화학 트랜지스터(OECT) 장치 구성 및 장치나아가 자외선 조사나 고온 증기와 같은 멸균 공정에도 견딜 수 있는 구조적 내구성을 갖추면서, 의료 현장에서 요구되는 위생 수준과 정밀성 및 실용성을 모두 만족하는 전자 피부 플랫폼을 구현하는데 성공했다. 연구팀은 채널의 길이가 매우 짧아(500nm) 고성능 특성을 가지는 수직구조(vertical structure)를 채택하고, 채널이 짧아짐에 따라 증가하는 기생 저항을 제거하는 4단자 기반의 측정 방식을 도입함으로 374mS의 신호 증폭률을 달성했다. 이러한 구조는 초저전압(10mV)으로도 준수한 신호 증폭률을 달성할 수 있게 할 뿐 아니라, 소재의 산화 및 부반응을 최소화할 수 있다. 이는 아주 낮은 수준의 전력만으로도, 오랜 시간 안정적으로 생체신호를 정확하게 모니터링할 수 있음을 의미한다.연구팀이 개발한 소자 구조는 1μm 두께의 파릴렌(Parylene) 기판 위에 구현이 가능해, 총 두께 2μm 미만의 초박형 센서를 제작할 수 있다. 초박형 센서는 피부에 밀착되어 생체신호 추출의 정확성을 높이며 안정성 또한 높다. 연구팀의 실험 결과 이 초박형 센서는 주름이나 사람의 움직임에 의해 발생할 수 있는 피부 압축과 인장 환경을 모사한 33% 압축 변형과 1000회 이상의 반복적인 인장 시험에서도 성능 저하 없이 안정적으로 작동했다.연구를 주도한 아주대 박성준 교수(전자공학과·지능형반도체공학과)는 “연구팀이 개발한 새로운 구조의 유기물 전기화학 트랜지스터를 활용해 n-형 반도체 소자의 구동 안정성을 세계 최고 수준으로 끌어올렸다”라며 “높은 정밀도와 안정성을 가진 비침습적 피부 인터페이스 건강 모니터링 기술에 진전을 이뤘다는 점에 큰 의의가 있다”라고 설명했다. 박성준 교수는 이어 “이를 기반으로 그동안 p-형 반도체에만 집중되었던 소재 개발 연구 및 시장이 n-형 반도체로도 확장되는 계기가 될 것”이라며 “실시간 건강 모니터링과 원격 생체신호 분석·진단 정확도 향상을 통해 다양한 분야에서 사람들의 삶의 질을 높이는데 기여할 것으로 기대한다”라고 덧붙였다. 이번 연구는 과학기술정보통신부의 나노·소재기술개발사업, 신진연구지원사업, 신진연구자 인프라 사업의 지원을 받아 수행됐다. 또한 국가과학기술연구회의 융합연구단사업, 정보통신기획평가원의 연구지원사업, 한국산업기술진흥원의 교육훈련사업, 한국연구재단의 기초연구실사업, 한국산업기술기획평가원의 시장주도형 K-센서 기술 개발사업의 지원도 받았다. * 위 그림 설명 : 피부 부착형 장치를 손가락에 부착하기 위한 심전도 신호 개략도(제일 왼쪽)와 실제로 손가락 관절 부분에 부착해 7일 동안 심전도 신호를 측정한 데이터(가운데 및 오른쪽). 연구팀이 구현한 초박형 센서는 피부에 밀착되어 생체신호 추출의 정확성을 높이며 안정성 또한 높다.
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- 작성자첨단ICT융합대학
- 작성일2025-07-03
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박성준 교수, 2025 Small Young Innovator Award 수상 – 유연 전자소자 분야에서 세계적 연구력 입증 위치 확인

왼쪽부터, Neville Compton(Editor-in-Chief), 박성준 교수, Rohini Kitture (Deputy Editors)아주대학교 박성준 교수가 세계적인 학술상인 2025 Small Young Innovator Award의 수상자로 선정되며, 나노과학 및 나노기술 분야에서 대한민국의 연구력을 국제적으로 입증했다. 이번 수상은 2025년 6월 4일부터 5일까지 제주도에서 열린 한국화학공학회-Small Sciences Symposium 에서 공식 발표되었으며, 박 교수는 우수한 연구성과와 차세대 리더로서의 잠재력을 인정받아 이 상을 수상하는 영예를 안았다.Small Young Innovator Award는 글로벌 학술 출판사 Wiley와 저널 Small이 공동으로 제정한 상으로, 2012년부터 매년 세계 각국에서 나노과학과 나노기술 분야의 혁신적인 연구를 수행한 젊은 과학자에게 수여되고 있다. 만 40세 미만의 연구책임자(Principal Investigator)를 대상으로 엄격한 심사를 통해 선발되며, 창의성, 융합적 사고, 응용 가능성 등을 종합적으로 평가한다. 지금까지 이 상을 받은 연구자들은 세계 유수의 대학과 연구소에서 활약하고 있는 선도적 인물들로, 예를 들어 스탠퍼드대학교의 Yi Cui 교수(에너지 저장 나노소재), 난양기술대학교(NTU)의 Hua Zhang 교수(촉매 화학), 드레스덴 공과대학교의 Xinliang Feng 교수(2차원 소자) 등이 있다. 박성준 교수는 이들과 어깨를 나란히 하며 국내 연구자의 위상을 국제적으로 드높이게 되었다.박성준 교수는 유연한 전자소자(flexible electronics) 분야에서 탁월한 기초 및 응용 연구를 수행해 왔다. 나노 단위에서의 소재 및 구조 제어를 통해 전자소자의 고성능 구현을 가능하게 했으며, 이를 기반으로 다양한 응용 시스템 개발로까지 연결시키는 통합적 연구 전략을 펼쳐 왔다. 특히 박 교수의 연구는 소자의 기계적 유연성, 신축성, 생체적합성 등을 극대화하면서도 전기적 특성의 손실을 최소화하는 기술적 진보를 이룩하였고, 웨어러블 디바이스, 바이오센서, 스마트 헬스케어 시스템 등 다양한 분야에서의 응용 가능성을 현실화시키는 데 성공하였다.이러한 연구는 단순한 이론 중심의 기초 성과에 그치지 않고, 실제 산업 및 사회문제 해결로 이어지는 응용 기술로 발전하고 있다는 점에서 학문적·사회적 가치를 동시에 인정받고 있다. 박 교수는 나노 수준에서의 정밀한 소자 설계와 공정 기술을 바탕으로, 향후 차세대 전자기기의 핵심 기술을 선도할 연구자로 기대를 모으고 있다.수상 소감에서 박성준 교수는 “이번 수상은 개인의 업적이라기보다, 함께 연구해 온 연구실 구성원들과 공동연구자들의 노력 덕분”이라며, “앞으로도 나노기술과 유연 전자소자 분야에서 국제적으로 의미 있는 연구를 지속하고, 국내외 연구자들과의 활발한 협력을 통해 더 큰 가치를 창출하겠다”고 밝혔다. 이어 “아주대학교의 적극적인 지원과 연구환경이 큰 힘이 되었으며, 앞으로도 세계와 경쟁할 수 있는 연구 역량을 더욱 강화해 나가겠다”고 덧붙였다.아주대학교는 이번 수상을 계기로 나노기술 및 전자소자 분야에서의 국제적 입지를 더욱 강화할 수 있을 것으로 기대하고 있으며, 박 교수와 같은 젊고 역량 있는 연구자들이 세계 무대에서 두각을 나타낼 수 있도록 지속적인 지원을 아끼지 않겠다고 전했다.이번 수상은 젊은 연구자들에게 연구의 방향성과 가능성을 제시하는 동시에, 기초과학과 실용기술을 잇는 융합 연구의 중요성을 다시 한 번 일깨우는 계기가 되었다. 박성준 교수는 그 중심에서, 과학기술의 미래를 견인할 차세대 리더로서 확고히 자리매김하고 있다.
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- 작성자김소영
- 작성일2025-06-20
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첨단ICT융합대학 2개팀, '과기정통부 글로벌 기초연구소 지원사업' 선정 위치 확인

아주대 첨단ICT융합대학의 2개 팀이 ‘2025년 과학기술정보통신부 글로벌 기초연구소 지원 사업’에 선정됐다. 이 사업은 특정 연구주제 중심의 소규모 기초연구 그룹을 지원해 국가 기초연구역량을 강화하기 위한 것으로, 과제당 연 5억원 수준의 연구비가 3년 동안 지원된다.과학기술정보통신부는 지난 5월 ‘2025년 글로벌 기초연구소 지원 사업’에 선정된 103개의 과제를 발표했다. 아주대에서는 심화형/ICT·융합연구 부문에서 2개팀이 선정되어, 오는 2028년 5월 말까지 각각 연 5억원 이내의 사업 비를 지원받게 됐다. 우리 학교에서는 지능형반도체공학과 김상인 교수가 책임을 맡고, 허준석·김장현·문태환 교수가 참여하는 ‘온칩 양자 키 분배 시스템을 위한 지능형 실리콘 포토닉스 플랫폼’ 과제와 전자공학과 이호원 교수가 책임을 맡고, 정방철·김정욱 교수와 고려대 유희정 교수가 참여하는 ‘유비쿼터스 반사 표면을 활용한 통합 통신-측위-매핑 연구실’ 과제가 이번 사업에 선정됐다. 지능형반도체공학과 팀이 연구하는 기술은 양자컴퓨터와 관련한 통신 시스템의 핵심적 요소로, 양자역학의 물리법칙에 의해 안전성이 보장되어 양자컴퓨터에 의해서도 깨지지 않는 양자 키 분배 방식의 양자암호통신 시스템을 구현하기 위한 것이다. 연구팀은 실리콘 기판 위에 광 집적회로 형태로 해당 시스템을 구현해나갈 계획이다. 아주대 지능형반도체공학과팀은 최근 양자컴퓨터에 대한 연구가 활발하게 이루어 짐에 따라 범용 양자컴퓨터 도입에 대비, 현재의 암호체계를 넘어서는 새로운 암호체계를 만들기 위해 이번 과제를 진행한다. ‘유비쿼터스 반사 표면을 활용한 통합 통신-측위-매핑 연구실’로 이번 과제에 선정된 전자공학과 팀은 ▲AI 기반 통신-측위-매핑다기능 융합 시스템인 COLUMBUS 시스템의 원천기술 및 플랫폼 개발 ▲반사 표면 위상조절에 대한 프로토타입 RF 시스템 설계 ▲표준기반 통합 시스템-레벨 시뮬레이터의 세계 최초 개발을 목표로 한다. 이는 자율주행차와 스마트 공장 같은 통신 및 센싱 기반의 다양한 산업 분야에서 활용될 가능성이 높다. 또한 장애인이나 노인, 어린이 등 같은 보행 약자를 위한 복지 서비스에도 활용할 수 있을 전망이다.
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- 작성자김소영
- 작성일2025-06-16
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첨단분야 학과 정원 51명 순증, 수도권 대학 3위 위치 확인

[사진 좌측부터 첨단바이오융합대학 실험실습, 지능형반도체공학과 클린룸 모습]우리 학교가 교육부의 첨단산업 인재 양성 정책에 따라 총 51명의 첨단분야 학과 정원 순증을 승인받았다. 이는 수도권 대학 중 세 번째로 많은 규모로, 첨단산업 분야에 대한 대학의 전략적 육성 노력이 가시적인 성과로 이어졌다.교육부는 수도권 과밀화를 우려해 수도권 대학의 신입생 정원을 엄격히 제한해 왔으나, 2023년부터 반도체, 바이오 등 국가 핵심 산업 분야에 한해 정원 확대를 허용하고 있다. 교원 확보율 100%를 충족하는 대학에만 신청 자격이 부여되며, 교육과정, 교원현황, 실험·실습 환경, 산학협력 등의 평가항목 심사를 거쳐 증원 규모가 결정된다.우리 학교는 이번 심사를 통해 첨단바이오융합대학 30명, 지능형반도체공학과 21명 등 총 51명의 정원을 순증하게 됐다. 이에 따라 첨단바이오융합대학은 75명에서 105명으로, 지능형반도체공학과는 기존 정원 40명에 학교 자체 정원 20명을 포함해 총 81명으로 정원이 확대된다.앞서 우리 학교는 2024년에도 미래모빌리티공학과(42명)와 첨단신소재공학과(25명)에서 총 67명의 정원을 순증한 바 있다. 교육부가 첨단분야 학과 정원을 순증한 최근 3년간 우리 학교가 확보한 순증 인원은 총 118명에 달하며, 이는 수도권 대학 중 정원 증가 수 기준 8위, 기존 정원 대비 비율 기준 4위 수준이다.이번 성과는 우리 학교가 중장기 발전계획 ‘아주비전 5.0’을 바탕으로, 스마트 모빌리티, 신재생에너지, AI·빅데이터, 바이오·헬스케어 등 특성화 분야를 중심으로 교육·연구 역량을 체계적으로 강화해 온 결과로 평가된다. 특히, 지역 산업 환경 분석, 산학협력 수요조사, 교육 인프라 고도화 등 대학의 실질적 준비와 실행력이 높은 평가를 받았다.우리 학교는 앞으로도 실용적 교육과 산학협력, 사회공헌에 기반한 첨단산업 인재 양성에 앞장서며, 미래를 선도하는 실사구시 대학으로서의 위상을 더욱 공고히 해나갈 계획이다.
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- 작성자김소영
- 작성일2025-04-24
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박성준 교수·강진모 동문, '과학·정보통신의 날' 포장 수상 위치 확인

아주대학교 박성준 교수,‘2025 과학·정보통신의 날’국가연구개발 성과평가 유공 부문 과학기술포장 수상학생 중심 연구와 기술사업화, 창의 인재 양성에 이르는 선순환 모델 실현아주대학교 전자공학과 및 지능형반도체공학과의 박성준 교수가 과학기술정보통신부와 방송통신위원회가 공동 주최한 ‘2025년 과학·정보통신의 날’ 기념식에서 과학기술 포장을 수상했다. 이번 수상은 단순한 기술 연구 성과에 그치지 않고, 학생 중심의 교육 철학과 기술의 사회적 환원이라는 비전을 실현해온 점이 높이 평가되어 더욱 뜻깊다. 그는 아주대학교 부임 이후 5년간 유기 반도체 기반의 차세대 소자 개발에 전념하며, 유연 전자소자(Flexible Electronics) 분야에서 세계적인 수준의 연구를 이끌어왔다. 주요 연구는 ▲고성능 금속 산화물 유전체 및 반도체 소재 및 소자 (Metal oxide electronic devices) ▲유연 유기전기화학 트랜지스터(Organic electrochemical transistors, OECT) ▲유연 유기 광전소자(Organic Optoelectronics) ▲생체적합형 유·무기 하이브리드 건식 전극 (Stretchable dry electrodes) 등 네 가지 분야로 구체화되며, 각 기술은 실용성과 응용 가능성 면에서 꾸준히 확장되고 있다. 특히 금속 산화물 유전체 및 반도체 연구에서는 CuO/IGZO 이종 접합을 활용한 3차원 인버터 및 뉴로모픽 소자를 통해 다층 인공신경망의 학습 및 추론 기능을 구현하고 있으며, 4차원 산화물 유전체 기반 박막 트랜지스터(TFT)를 통한 저전력·고집적 소자 개발에도 기여하고 있다. OECT 분야에서는 수직 구조 기반의 유연 소자를 개발하고 기생저항 문제를 해결함으로써, 저전압 조건에서도 정밀한 생리학적 신호 측정이 가능한 전자피부 구현과 뉴로모픽 연산 기술과의 융합 가능성을 확장하고 있다. 또한 광센서 부문 연구에서는 다양한 흡광대역을 가진 유기 반도체를 조합하여 광통신 기능과 맥파(PPG) 측정이 가능한 고성능 센서를 개발함으로써 웨어러블 헬스케어 및 로보틱스관련 연구에 실질적으로 기여하고 있다. 유·무기 하이브리드 건식 전극을 활용해 피부 자극 없이도 장시간 안정적인 생체 신호 측정이 가능한 소자를 구현하며, 전자피부를 근간으로 바이오 헬스 모니터링, 스마트 진단기기 등 다양한 의료·헬스케어 응용 가능성을 제시하고 있다. 이러한 활발한 연구 활동은 국내외 학계에서도 높은 주목을 받고 있다. 대학원생들이 제1저자로 참여한 논문의 경우, Nature Electronics (IF=31.6), Advanced Materials (IF=27.4), Materials Science & Engineering: R (IF=31.6) 등 세계적 우수한 학술지에 게재되었고, 아주대학교에 부임 이후 현재까지 대학원생 제1저자 논문 26편, 공동저자 논문 11편 등 총 37편의 논문을 발표하며 연구와 교육의 이상적인 균형을 실현하고 있다. 이는 단순한 실적을 넘어, 학생들에게 국제적인 연구 경험과 자율적 문제 해결 능력을 키워주는 교육적 성과로 이어지고 있다.그의 성과는 연구에만 머무르지 않고, 실용화 측면에서도 상당한 두각을 나타내었다. 현재까지 반도체 소자공정 및 웨어러블센서 분야에서 기술이전을 성사시키며 기술사업화 측면에서도 뚜렷한 성과를 거두었다. 이는 단순한 금전적 가치뿐만 아니라, 해당 기술들이 산업에 미치는 파급력과 확장성 측면에서도 높은 평가를 받고 있으며, 원천기술들은 향후 신산업 창출로 이어질 가능성 또한 기대되고 있다. 교육자이자 지도자로서의 역할 역시 인상 깊다. 사회적 기여와 실질적 문제 해결 역량을 강조하는 지도 아래, 그의 연구실에서는 과학기술정보통신부 장관상 2건, 산업통상자원부 장관상 1건 등 총 3건의 장관상 수상자가 배출되었다. 정보통신기획평가원(IITP)의 대학ICT연구센터 사업 학생창의자율과제에서 ‘초저전압 심전도 신호 추출 웨어러블 센서 개발’로 과기정통부 장관상을, ‘ICT 챌린지 2024’에서는 ‘가볍고 무선으로 데이터 전송이 가능한 심전도 모니터링 시스템’으로 1위를 수상하며 장관상을, ‘산학프로젝트 챌린지 2024’에서는 ‘다양한 생리학적 신호 측정 기술과 알고리즘을 이용한 생체신호 분석 및 진단에 대한 기술’로 산업통상자원부 장관상을 수상하였다. 이는 현장 중심의 창의 인재 육성 사례로 높이 평가되고 있다. 이와 함께 대학원생들의 학술 활동도 적극적으로 장려하여, 우수 발표상 5건, 우수 포스터상 18건 등 다수의 수상 실적을 기록함으로써 학생들의 성취감을 고취하고 있다. 더 나아가, 연구성과가 연구실에 머무르지 않고 학생 창업으로 이어질 수 있도록 다양한 지원을 아끼지 않고 있다. 실험실 창업, 기술지주회사 연계, 정부 지원 프로그램 등을 통해 학생들이 자신의 연구를 실제 사회적 가치로 전환할 수 있도록 지도하며, 기술의 산업적 의미와 사회적 파급력을 인식하고 미래를 주도할 수 있는 인재로 성장할 수 있도록 돕고 있다. 이처럼 연구와 교육, 기술혁신의 접점에서 자신만의 길을 개척해온 그는 앞으로도 사람과 기술을 연결하는 가교 역할을 하며, 미래 사회에 긍정적인 변화를 이끌 핵심 인물로 주목받고 있다.박성준 교수의 이번 포장 수상은 대한민국 과학기술 발전의 새로운 방향성을 제시한 동시에, 교육·연구·산업 간의 선순환 모델을 실현한 모범 사례로서, 향후 과학기술 기반의 지속 가능한 사회 구현에 중추적인 역할을 할 것으로 기대된다.[참고 자료] [사진 1] 연구실 단체 사진 [사진 2] 박성준 교수님 사진 [사진3] 과학기술포장 수상자 단체사진. 사진 왼쪽에서 네번째가 아주대 박성준 교수
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- 작성일2025-04-23
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오일권 교수팀, 반도체 고집적화 위한 선택적 원자층 증착 기술 개발 위치 확인

- 선택적 원자층 증착(AS-ALD), 기술적 한계 돌파할 핵심 신기술로 업계 주목- 특정 기업 독점 ‘EUV 장비’없이도 패터닝 가능해져, 맞춤형 제작도 가능우리 학교 오일권 교수 공동연구팀이 선택적 원자층 증착을 통해 반도체 공정의 정밀도를 높일 수 있는 기술을 개발했다. 이에 미세화·고집적화가 진행되고 있는 차세대 반도체 소자 분야의 공정에서 중요하게 활용될 수 있을 전망이다. 오일권 교수(지능형반도체공학과·전자공학과)와 삼성종합기술원(Samsung Advanced Institute of Technology, SAIT) 공동 연구팀은 반도체 박막 증착의 정밀도를 높일 수 있는 선택적 원자층 증착 기술을 개발하는 데 성공했다고 밝혔다. 해당 연구는 ‘선택적 원자층 증착을 통한 차세대 전자 소자 개발(Area-Selective Atomic Layer Deposition on Homogeneous Substrate for Next-Generation Electronic Devices)’이라는 제목의 논문으로 저명 학술지 <어드밴스드 사이언스(Advanced Science)> 4월호에 게재됐다. 아주대 지능형반도체공학과 석사과정의 이민정·원병준·임영진 학생이 공동 제1저자로 참여했고, 오일권 교수가 교신저자로 함께 했다. 삼성종합기술원의 김성현·송정규 박사는 공저자로 참여했다. 반도체 공정에서의 선택적 원자층 증착(Area-Selective Atomic Layer Deposition, AS-ALD)이란, 반도체 기판의 특정 표면에서만 증착이 이루어지도록 조절하는 기술이다. 이 기술을 활용하면 반도체 기판의 원하는 위치에, 필요한 물질만을 입힐 수 있다. 기존에 널리 활용되어 온 원자층 증착(Atomic Layer Deposition, ALD) 공정은 기판 전체에 균일한 박막을 형성하는 방식으로, DRAM과 낸드플래시 같은 메모리 그리고 비메모리 반도체(시스템 반도체) 공정에서 널리 활용되고 있다. 그러나 최근 반도체 소자의 미세화와 고집적화가 진행됨에 따라, 공정의 수와 제조 비용을 줄이고 오류 가능성을 낮춰 정밀도와 효율성을 높이기 위해 원하는 영역에만 선택적으로 박막을 형성하는 기술이 필수적으로 요구되고 있다. 이에 선택적 원자층 증착 기술(AS-ALD)이 가장 뜨거운 차세대 반도체 공정의 핵심 기술로 부상해왔다. 기술적 한계에 도달한 반도체 산업의 돌파구가 될 유일무이한 신기술로 주목받고 있는 것. 실제로 선택적 원자층 증착 기술(AS-ALD)을 활용하면, 기존에서 필요로 했던 단위 공정의 스텝을 대거 생략할 수 있어, 제조 비용과 오류 발생을 획기적으로 낮출 수 있다. 또한 그동안 특정 기업이 독점해온 고가의 극자외선(EUV, Extra Ultra Violet) 노광장비 없이도 반도체 패터닝을 가능케 할 수 있다는 점에서, 산업계와 학계의 관심이 집중되어왔다. 또한 선택적 원자층 증착 기술(AS-ALD)을 적용하면, 기존의 기술과 장비로는 구현이 어려웠던 새로운 3차원 미시 반도체 소자의 맞춤형 제작도 가능해진다. 때문에 그동안 학계와 산업계에서는 선택적 원자층 증착 기술(AS-ALD)의 구현을 위한 새로운 방식의 연구를 지속해왔다. 그러나 실제 반도체 양산 공정에서 이 기술을 구현하는 데에는 여러 한계를 보여왔다. 관련 공정에 활용되는 여러 화학 물질과 소재에 따라 선택적 박막 형성의 정밀도가 떨어지거나, 실제 소자에 적용했을 때 전기적 성능이 떨어지는 현상이 나타났기 때문이다.이에 아주대 공동 연구팀은 기존에 DRAM 공정에서 오랜 기간 주로 사용해 온 커패시터(Capacitor)막의 소재 조합인 ZAZ(ZrO2/Al2O3/ZrO2) 구조의 한계를 극복하기 위해, 이 조합에 활용되어온 산화알루미늄(Al2O3)을 누설전류의 경로인 그레인 경계(grain boundary)에만 선택적으로 증착했다. 이를 통해 불필요한 산화알루미늄(Al2O3) 증착을 최소화하고 소자의 성능과 신뢰성을 효과적으로 개선할 수 있는 방법을 연구했다. 투과전자현미경 이미지와 화학 조성 분석을 통해 실제 그레인 경계에 산화알루미늄(Al2O3)이 형성된 것을 통계적으로 확인한 그래프. 산화알루미늄(Al2O3)이 선택적으로 분포함을 확인할 수 있다. b와 c는 그레인 경계에서 떨어진 거리에 따라 Al의 양이 얼마나 있는지 보여주는 그래프다. Al2O3이 그레인 경계에 선택적으로 형성된 것을 확인할 수 있다. 연구팀은 이산화지르코늄(ZrO2) 기판을 활용해 특정 영역에서 선택적으로 증착이 이루어지는 메커니즘을 분석하고, 효과적으로 제어할 수 있는 방법을 실험적으로 입증해냈다. 연구팀은 또한 선택적 원자층 증착을 통해 반도체 소자의 성능을 향상시키는 동시에 불필요한 누설전류를 줄일 수 있음을 확인했다. 이는 DRAM 소자의 저장 효율성을 극대화할 수 있는 가능성을 제시하며, 선택적 증착을 통해 DRAM 소자의 미세화 과정에서 발생할 수 있는 데이터 손실을 최소화할 수 있음을 보여주는 성과다. 때문에 메모리 소자의 저장 성능을 높이는 데 있어 중요한 기술적 의미를 가진다고 볼 수 있다. 오일권 교수는 “‘선택적 원자층 증착’은 반도체 산업의 기술적 한계를 뛰어넘기 위해 꼭 필요로 하는 기술이지만 실제 공정에의 활용에는 여러 난관이 존재해왔다”라며 “이번 연구를 통해 선택적 증착과 제어가 가능함을 실험적으로 입증했다는 점에서, 반도체 공정 기술에 핵심적인 진전이 될 것”이라고 설명했다. 오 교수는 "앞으로 산업적 적용을 위한 추가 연구를 통해 반도체 소자의 성능 향상과 생산 공정의 효율성을 더욱 높일 수 있도록 노력하겠다"라고 덧붙였다.아주대 연구팀은 앞으로 후속 연구를 통해 원자층 증착 공정을 더욱 정밀하게 제어할 수 있는 기술을 개발하고, 산업적 적용 가능성을 검토할 계획이다.* 위 그림 설명 : 아주대 공동 연구팀의 새로운 선택적 원자층 증착(AS-ALD) 공정을 통해 붉은색의 산화알루미늄(Al2O3)이 이산화지르코늄(ZrO2)의 누설전류 경로인 그레인 경계에만 형성된 것을 표현한 그림. 이 기술을 통해 DRAM 소자에서 데이터 손실을 최소화하면서 저장 능력을 극대화할 수 있을 것으로 기대된다.
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- 작성자김소영
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'세상 바꾸는 큰 연구’ 위해- 김우중아주학술상, 오일권 교수 첫 수상 위치 확인

‘세상에 기여하는 탁월한 연구’를 해달라는 동문 기업가의 뜻을 담아 제정된 아주대 <김우중아주학술상>의 첫 수상자가 나왔다. 우리 학교는 지난 7일 학교법인 대우학원과 대학 관계자들이 참석한 가운데 <김우중아주학술상> 시상식을 열었다. ▲학술상 및 심의과정 소개(안병민 연구정보처장) ▲기부자 축사(최종욱 마크애니 대표) ▲연구내용 소개(수상자 오일권 교수) ▲상금 및 상패 증정 등이 이어졌다. 첫 <김우중아주학술상> 수상의 영예는 오일권 교수(지능형반도체공학과·전자공학과)에게 돌아갔다. 수상자에게는 상패와 함께 1억원의 상금이 주어졌다. 반도체 소자 및 공정 분야를 연구해온 오일권 교수는 기존에 알려진 금속과는 완전히 다른 성질을 가진 새로운 비정질 준금속 나노 극초박막 물질을 개발, 글로벌 저명 학술지 <사이언스(Science)> 2025년 1월호에 논문을 게재했다. 이번 연구는 미국 스탠포드대학 연구팀과의 공동 성과로, 반도체 소자의 미세화에 따른 기술적 한계를 돌파할 차세대 반도체의 원천기술로 산업계의 주목을 받고 있다. <김우중아주학술상>은 지난 2021년 아주대 동문 기업가 최종욱 마크애니 대표(공업경영 78학번)의 기부를 계기로 제정됐다. 최종욱 대표는 탁월한 연구로 우리 사회와 기업의 발전에 기여하는 모교 연구자들을 위해 써달라며 5억원을 기부했다. 대우학원 설립자 김우중 회장의 도전 정신을 기리고자 하는 기부자의 뜻을 담아 상의 이름은 <김우중아주학술상>으로 명명됐고, 학교는 저명 학술지 <네이처(Nature)> 또는 <사이언스(Science)>에 주저자로 논문을 게재한 전임 교원에게 심사를 통해 상금을 수여하기로 했다. 첫 <김우중아주학술상>을 수상한 오일권 교수는 “신진 연구자로서 연구에 집중할 수 있는 환경을 만들어준 학교와 선배 교수님들, 그리고 함께 해 온 연구실 학생들께 감사를 전한다”며 “어린 시절부터 지녀온 과학자로서의 호기심을 바탕으로, 남들과는 다른 새로운 연구 그리고 세상을 이롭게 할 기술 개발에 도전하고 싶다”라고 말했다.이어 “앞으로 다른 여러 분야의 교수님들과 함께 대형 연구에 도전, 세계적 수준의 성과를 내고, 나아가 노벨상 수상까지를 목표로 연구를 이어나가겠다”라고 덧붙였다. 이날 행사에 함께 자리한 <김우중아주학술상>의 기부자 최종욱 대표는 “무사는 칼로 승부하고, 교수는 연구로 승부한다”라며 “세상에 없던 새로운 것을 찾아 연구로, 그리고 논문으로 보여주는 것이 교수 업(業)의 본질”이라고 말했다. 이어 “오늘의 수상자는 아주의 자랑이자, 대한민국의 보물”이라며 “김우중 회장의 도전, 봉사, 창조의 정신을 이어받아 저 역시 기업인으로서 계속 열심히 뛸 것”이라고 덧붙였다. 동문 기업가 최종욱 마크애니 대표가 시상에 앞서 축하의 말을 전하고 있다관심 연구 분야와 앞으로의 목표를 발표한 오일권 교수와, 기부자 최종욱 동문학술상 시상 후- 왼쪽부터 최기주 총장과 오일권 교수, 최종욱 기부자* 오일권 교수 <사이언스(Science)> 게재 연구, 영상으로 보기* '김우중아주학술상' 5억 기부 최종욱 동문, 인터뷰 보기(아주인사이트 21 가을호)
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- 작성자김소영
- 작성일2025-04-23
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전자·생명 학생팀, ‘반도체 특성화대학 경진대회’ 최우수상·장려상 위치 확인

우리 학교 전자공학과·생명과학과 학생들이 교육부와 한국산업기술진흥원이 주최한 ‘2024 반도체 특성화대학 경진대회(스토브리그)’에서 최우수상과 장려상을 수상했다. ‘2024 반도체 특성화대학 경진대회’는 지난 12월 26일부터 27일까지 부산 백스코에서 개최됐다. 이번 대회는 아주대, 서울대, 연세대, 고려대 등 전국 24개 반도체 특성화대학 사업 참여 대학의 132개 팀이 함께 했고, 상위 20개 팀이 본선에 진출했다. 아주대에서는 총 8개 팀이 출전했다. 우리 학교 학생팀 2팀은 최우수상과 장려상을 수상했다. 우리 학교 학생들은 한밭대 학생들과 함께 팀을 꾸려 수상의 영광을 안았다. 최우수상은 우리 학교 전자공학과 김민철·이헌재 학생과 한밭대 이강산 학생으로 구성된 ‘아주 확실한 DRAM' 팀이 차지했다. 이 팀은 DRAM 센스 앰프의 캐패시터를 순차적으로 충전하는 방식을 통해 전력 소모를 줄이고 센스 앰프의 면적 효율을 높이는 솔루션을 제안해 최우수상을 받았다. 부상으로 상금 400만원과 2주간의 미국 연수 기회가 제공된다.장려상은 우리 학교 전자공학과 이후관 학생과 생명과학과 장유진 학생, 한밭대 정재웅 학생으로 구성된 ‘꽉찬 칩’ 팀이 수상했다. 이 팀은 웨이퍼 Edge ring에 Protection layer를 결합한 아이디어로 Etch 공정에서 수율을 획기적으로 높이는 방안을 제시해 장려상을 받았다.두 팀의 지도를 맡은 아주대 전자공학과 김장현 교수는 “학생들이 실제 산업 현장의 문제를 해결하는 과정에서 보여준 창의적 접근과 문제해결 능력이 매우 인상적”이라며 “실무와 학문적 지식을 융합, 실질적인 솔루션을 제시한 점에서 높은 평가를 받은 것 같다”라고 전했다.우리 학교는 지난해 7월 한밭대와 함께 ‘첨단산업 특성화대학 지원사업’ 반도체 특성화 대학에 선정됐다. 두 대학은 동반성장형 연합체를 구성, 회로·시스템 및 소자·공정·패키징 특성화 분야에 참여하고 있다. 이 사업은 우리 학교 ▲지능형반도체공학과 ▲전자공학과 ▲첨단신소재공학과 ▲화학공학과 ▲물리학과 ▲미래모빌리티공학과가 참여하고 있다.
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- 작성자김소영
- 작성일2025-04-23
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오일권 교수팀 개발 新금속물질, <사이언스(Science)> 1월호 게재 위치 확인

- 반도체 산업의 기술적 한계 돌파할 새로운 금속물질- 금속과 반대 특성 갖는 비정질 준금속 나노박막, 세계 최초 실험적 입증아주대 오일권 교수팀이 기존에 알려진 금속과는 완전히 다른 성질을 가진 새로운 비정질 준금속 나노 극초박막 물질을 개발하는 데 성공했다. 그동안 이론 연구로만 존재했던 미지의 물질에 대해 처음 실험적으로 입증해 낸 것으로, 앞으로 차세대 반도체의 원천기술로 활용될 수 있을 전망이다.오일권 교수(지능형반도체공학과·전자공학과) 국제 공동 연구팀은 반도체 배선 물질로 사용되는 극초박막에서 비저항이 작아지는 차세대 금속 물질을 개발했다고 밝혔다. 이 위상 준금속 물질은 박막의 두께가 줄어듦에 따라 비저항이 증가하는 기존 금속들과는 반대로, 박막의 두께가 줄어듦에 따라 비저항이 급격히 줄어드는 특성을 보인다. 해당 내용은 ‘극초박막 비정질 NbP 준금속 내 표면 전도와 전기 비저항의 감소(Surface Conduction and Reduced Electrical Resistivity in Ultrathin Non-Crystalline NbP Semimetal)’라는 제목으로 글로벌 저명 학술지인 <사이언스(Science)> 1월호에 게재됐다. 미국 스탠포드대학 전자공학과의 에릭 팝(Eric Pop) 교수· 아시르 인티자르 칸(Asir Intisar Khan) 박사가 함께 참여했다. 우리 학교 원병준 석사 졸업생(지능형반도체공학과)이 공동저자로 함께 참여했다. 아주대 연구팀은 물질 합성과 메커니즘 및 물성 연구를 수행했고, 스탠포드대 연구팀은 물질 합성과 전기적 특성 연구를 맡았다.반도체의 주요 공정 중 하나인 금속 배선(Metallization)은 반도체 칩 안에 있는 단위 트랜지스터 소재를 연결하는 공정이다. 마치 옹기종기 모여있는 마을과 마을, 집과 집 곳곳을 연결하는 도로와 같아, 수 cm 수준의 반도체 칩 한 개에 100km에 달하는 금속 배선 물질이 사용된다. 이 금속을 통해 전자가 흘러 정보를 저장하거나 연산해 하나의 칩으로 구동된다. 모든 금속은 비저항(Resistivity) 값을 가지며, 이는 물질 고유의 특성으로 알려져 있다. 그러나 수 나노미터(nm) 단위의 극초박막에서는 다른 현상이 나타난다. 반도체 소자의 크기가 줄어듦에 따라, 금속 배선의 선폭도 지속적으로 작아지는데, 이에 현재 개발된 수준의 반도체 소자는 전자가 충돌까지 걸리는 거리인 자유행정거리(Electron Mean Free Path, EMFP) 보다도 선폭이 작아진 상황에 놓였다. 때문에 미세화된 배선에서는 전자가 부딪칠 확률이 높아지고, 결국 비저항 값이 비약적으로 상승하게 된다. 이에 반도체 소자의 미세화에 발맞춰 더 낮은 비저항을 갖는 금속 물질을 찾는 것이 산업계와 학계의 화두다. 반도체의 금속 배선 물질로 주로 사용되어온 구리(Cu)뿐 아니라 최근 구리를 대체하는 물질로 제시되어 온 몰디브데넘(Mo) 또는 루테늄(Ru) 등의 물질 역시 한계를 보이고 있다. 이 물질들 역시 특정 두께 이하에서는 비저항이 급격히 증가하는 특성을 가지고 있어, 당장은 구리를 대체할 수 있다고 해도, 결국에는 또 다른 신물질이 필요한 상황이다. 아주대 공동 연구팀이 개발한 새로운 비정질 준금속 나노 극초박막 물질을 설명하는 그림. 사파이어 결정층(갈색)과 Nb 결정층(주황색) 위에 NbP 비정질층(보라색)이다.이미지 출처 <사이언스(Science)>이에 더해 특정 물질을 새로이 반도체 공정에 도입하기 위해서는 수 백억원에서 수 조원 단위의 투자금이 소요되기에 월등한 성능을 가진 물질에 대한 수요가 높을 수밖에 없다. 아주대 연구팀이 세계 최초로 개발한 위상 준금속 물질은 기존 금속들과는 정반대로 극초박막에서 비저항이 오히려 작아지는 특성을 보인다. 또한 현재 반도체 공정에 적용할 수 있을 정도로 호환성이 월등하다. 성장 온도가 400도 미만의 저온이며, 일반적 금속이 가지는 결정질의 단결정이나 다결정 형태의 박막이 아닌, 비정질 형태의 박막임에도 비저항 역행 현상이 나타나기 때문이다. 대부분 금속의 경우 비정질이 아닌 결정질 형태가 전자를 수송하기에 용이하고 비저항도 훨씬 낮다고 알려져 있다. 이에 반도체 배선 공정에서도 다결정 형태의 금속 박막을 이용하고 있다. 비정질을 결정질 형태로 만들기 위해서는 금속 박막을 증착한 후, 고온에서의 열처리 후속 공정이 필요하다. 그러나 아주대 연구팀이 새로 개발한 물질은 비정질 물질로 별도의 고온 공정이 필요하지 않다. 즉 새로운 준금속 물질은 적은 비용으로 쉽게 구현할 수 있는 비정질 형태이며 저온 공정이 가능하다는 점에서, 반도체 배선 물질에 실제 활용하기 위해 가장 큰 문제가 되는 두 산을 넘었다는 의미를 가진다. 아주대 연구팀은 이에 대한 후속 연구로 원자층 증착 공정 기반의 위상 준금속 공정을 개발하는 중이다. 원자층 증착법은 물리 기상 증착법에 비해 원자 단위로 박막의 두께를 조절할 수 있어 미세화에 더 적합하다. 이에 상용화에 더 가까운 기술로 평가받고 있다. 오일권 아주대 교수는 “과학자로서 ‘왜?’라는 호기심을 놓치지 않고 꾸준히 새로운 분야에 대한 연구를 이어왔다”며 “그동안 시도된 적 없는 연구를 통해, 완전히 새로운 물질에 대해 처음으로 실험적으로 입증해 냈다는 점에서 의미 있는 성과”라고 전했다. 오 교수는 이어 “이번 연구를 통해 확보한 신개념 금속 물질은 한계에 직면한 미래 반도체 기술의 돌파구가 될 수 있다”라며 “미래 반도체 산업의 주도권을 선점할 원천기술로 활용될 수 있을 뿐 아니라, 응용 가능성이 무한하다”라고 덧붙였다. 이번 연구는 한국연구재단 우수신진연구와 아주대학교 신임 교원 정착연구비 지원을 받아 수행됐다.연구 내용을 설명하는 오일권 아주대 교수아주대 클린룸에서 준금속 웨이퍼 제작 공정을 설명하는 오일권 교수(사진 왼쪽)* 제일 위 사진 - 아주대 오일권 교수팀이 개발한 새로운 비정질 준금속 나노 극초박막 물질을 적용한 반도체 소자. 반도체 소자의 미세화에 따라 더 낮은 비저항 금속 물질을 필요로 하는 반도체 업계에서, 미래 기술을 선도할 새로운 원천기술로 활용될 수 있을 것으로 기대된다.
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- 작성자김소영
- 작성일2025-04-23
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